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Sensofar平面度測量白光干涉儀搭配0.65X物鏡，具有很大視野的物鏡和較高精度的載物臺，在平面度、平行度和臺階高度測量方面提供了較佳的表現。S neox 持續成為多功能性的先驅;這次帶來了具有最大視野的物鏡放大倍率和最高精度的載物臺，在平面度、平行度和臺階高度量測方面提供了最佳表現。

Sensofar 5軸空間3D共聚焦白光干涉輪廓儀結合了高精度旋轉模塊和S neox 3D光學輪廓儀的檢測和分析功能在位置上實現全自動地3D表面測量，并結合在一起，完成全表面的3D立體測量。

全新設計的Sensofar共聚焦白光干涉儀 S neox區別于傳統白光干涉儀，將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術融于一身，測量頭內無運動部件。能夠測量不同的材質，結構，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的三維形貌,測量應用。Sensofar的核心是將3種測量方式融于體，確保了其優異的性能。配合SensoSCAN軟件系統，用戶將獲得出色的直觀操作體驗。

白光干涉儀S neox：從二維到三維的視野，突破二維觀察局限，通過三維形貌測量精準量化表面高度、粗糙度及輪廓尺寸，實現從“看”到“量”的跨越，為表面分析提供客觀數據支撐。

白光干涉儀S neox的高反射表面測量；Sensofar S neox通過可調光源、偏振附件與優化算法，有效抑制高反光表面過曝，實現對拋光金屬、硅片等樣品的高質量三維測量。

白光干涉儀S neox在微納技術中的角色：Sensofar S neox以三維、高分辨率、非接觸測量能力，精準表征MEMS、微流道及光子晶體等微納結構的形貌與尺寸，助力微納技術的研發與質量控制。