干式液氦溫區(qū)探針臺 LHe-6H-06特點(diǎn)

1、真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）；

2、探針控制：標(biāo)配6個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍110mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

3、顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：0.5X~3. 75X（使用0. 75X附加物鏡時(shí)），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；

4、變溫樣品臺：直徑標(biāo)配50mm，可選配150mm。變溫范圍：6K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01 K;

5、可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖；

6、系統(tǒng)直流漏電低于1pA;

7、干式液氦溫區(qū)探針臺 LHe-6H-06含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。