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Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量?

產品簡介

Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量?
Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,為微納米級表面形貌檢測提供有效解決方案,適用于半導體、光學元件和精密制造等領域。

產品型號:
更新時間:2025-10-21
廠商性質:代理商
訪問量:195
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產品概述

Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量  Zygo白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,適用于微米至納米級表面形貌分析,滿足半導體、光學元件、精密制造等領域的高精度檢測需求。Zygo白光干涉光學輪廓儀:微納表面精密測量 Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量

核心性能

  • 測量范圍:垂直分辨率0.1nm,橫向分辨率1μm

  • 多模式測量:支持白光干涉、相移干涉等多種測量模式

  • 快速掃描:高速數據采集,提高檢測效率

  • 大視場兼容:適配2.5X-100X物鏡,支持不同尺寸樣品測量

用材與結構

  • 光學系統:高穩定性干涉光路設計

    精密載物臺:電動控制,定位精度高

  • 分析軟件:提供3D形貌重建、粗糙度分析等功能模塊

參數表

型號

NewView 9000

NewView 7000

垂直分辨率

0.1nm

0.5nm

橫向分辨率

1μm

2μm

最大視場

10×10mm

5×5mm

掃描速度

可選高速模式

標準模式

Zygo白光干涉光學輪廓儀主要用途

  • 半導體晶圓表面缺陷檢測

    光學鏡片面形測量

  • MEMS器件三維形貌分析

  • 材料表面粗糙度表征

使用說明

1.樣品準備:確保表面清潔,避免強反射干擾

2.模式選擇:根據樣品特性選擇合適測量模式

3.參數設置:調整掃描范圍和分辨率

4.數據分析:通過軟件進行3D重建和參數計算

Zygo白光干涉光學輪廓儀微納表面精密測量


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