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ZYGO白光干涉儀:微納表面測量工具

產品簡介

ZYGO白光干涉儀:微納表面測量工具
ZYGO白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,適用于高精度表面形貌分析,廣泛應用于科研、半導體和精密制造領域

產品型號:
更新時間:2025-10-21
廠商性質:代理商
訪問量:147
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ZYGO白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術,適用于高精度表面形貌分析,廣泛應用于科研、半導體和精密制造領域。ZYGO白光干涉儀:微納表面測量工具 zygo 白光干涉光學輪廓

產品細節與性能

  • 光學系統:采用高穩定性干涉光學設計,搭配低噪聲CCD傳感器,確保測量數據穩定。

  • 掃描能力:垂直分辨率可達0.1nm,橫向分辨率優于1μm,適應微米至納米級測量需求。

  • 軟件功能:配備專業分析軟件,支持3D形貌重建、粗糙度分析、臺階高度測量等功能。

用材與結構

  • 機身采用高剛性鋁合金框架,減少環境振動影響。

  • 光學元件鍍有防反射膜,提高信噪比,適應高反光或低反射率樣品。

主要型號

  • NewView™ 9000:適用于高精度科研及工業檢測。

  • NewView™ 7000:經濟型,適合常規實驗室使用。

典型應用

  • 半導體晶圓表面缺陷檢測

  • 光學元件面形測量

  • MEMS器件三維形貌分析

使用說明

  1. 開機預熱15分鐘,確保光源穩定。

  2. 選擇合適物鏡,調整樣品臺焦距。

  3. 啟動自動掃描,軟件自動處理數據并生成報告。

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