澤攸 臺階儀憑借靈活的配置,可適應多樣化的測量需求。其采用模塊化設計,傳感器與工作臺均可根據樣品特性更換,提升設備的適用范圍。澤攸深度測量的可靠選擇
設計上注重擴大測量范圍的同時保持測量精度,其驅動系統采用伺服電機,運行平穩,掃描過程中觸針測力波動小。
針對需要測量較深臺階的應用場景,澤攸臺階儀展現出優勢。其驅動系統采用高精度滾珠絲杠,配合線性導軌,確保在長行程掃描時的穩定性。
測量范圍達到 0 - 500μm,垂直分辨率 0.1nm,能準確測量深槽、厚涂層等結構的臺階高度。掃描長度最大 100mm,掃描速度 0.05 - 1mm/s,滿足大面積深臺階樣品的測量需求。
接觸式傳感器觸針采用碳化鎢材質,硬度高、耐磨性好,針尖半徑 20μm,測力范圍 5 - 50mg,適合測量金屬、陶瓷等硬質材料。設備配備溫度補償系統,可修正環境溫度變化對測量的影響,保證數據的一致性。
參數表顯示,其重復測量精度(3σ)優于 1%,滿足精密測量的重復性要求。使用時需注意,測量深臺階時應降低掃描速度,避免觸針與臺階邊緣發生碰撞。適用于模具型腔深度測量、厚膜電路臺階分析等領域。
澤攸深度測量的可靠選擇