全自動臺階儀JS2000B應用場景

面對高通量、高一致性的現代工業檢測需求，全自動化測量已成為提升效率和保證質量的關鍵。澤攸JS2000B全自動臺階儀正是為應對這一挑戰而設計，它集成了先進的運動控制、視覺定位和數據分析軟件，旨在實現從樣品放置到報告生成的全流程自動化。

一、產品設計與用材

JS2000B的設計體現了集成化和精密化的理念。其基座通常采用天然大理石或高性能陶瓷材料，這些材料具有優異的熱穩定性和極低的溫度膨脹系數，確保了設備在長時間工作中平臺的幾何精度保持穩定。

它搭載了一個全電控的XYZ三維移動平臺。X軸和Y軸構成了精密的平移臺，用于定位樣品的不同測量區域；Z軸則用于控制傳感器的升降。所有軸系都采用高精度絲杠或直線電機驅動，并配有高分辨率的編碼器進行閉環反饋控制，確保了定位的準確性和重復性。自動對焦系統和高清CCD攝像頭的加入，使得操作員無需目視觀察，即可在計算機屏幕上清晰看到樣品表面，并精確定位測量點。

二、產品性能與參數

JS2000B的性能指標旨在滿足嚴苛的工業標準。其測量范圍覆蓋10mm，在保證大行程的同時，其重復性可控制在≤0.3μm以內，展現了出色的測量穩定性。平臺的移動范圍通常為100mm x 100mm，允許對較大樣品或多個樣品進行程序化批量測量。

其核心強大之處在于功能豐富的專業測量軟件。軟件不僅控制所有硬件動作，還支持：

• 多點編程測量： 用戶可在軟件地圖上點擊或輸入坐標，輕松設置數十個甚至上百個測量點。

• 自動對焦與邊緣識別： 軟件可自動找到樣品表面最佳焦距，甚至能識別圖案邊緣，實現測量點的精確定位。

• 三維形貌重構： 通過進行多點掃描，軟件能夠將點云數據組合起來，生成樣品表面的二維輪廓圖或三維形貌圖，提供更豐富的表面信息。

• 高級數據分析與報告導出： 內置強大的數據分析工具，可自動計算臺階高度、寬度、粗糙度等參數，并生成定制化的檢測報告。

三、詳細用途與使用說明

JS2000B廣泛應用于對效率和精度有較高要求的領域，如半導體晶圓的膜厚檢測、MEMS器件的結構分析、光學透鏡的矢高測量、硬盤磁頭的臺階高度檢測以及科研機構進行大量重復性實驗。

其使用流程高度自動化：

1. 初始化： 開機預熱，啟動軟件，設備進行初始化自檢。

2. 放置樣品： 將樣品置于平臺（可選配自動樣品臺實現批量上樣）。

3. 程序編制： 通過CCD圖像定位，在軟件中編制測量程序（設定測量點序列、路徑、參數）。

4. 全自動運行： 啟動測量程序，設備將自動地執行：平臺移動至指定點 -> 自動對焦 -> 測針接觸測量 -> 數據記錄 -> 移至下一點。操作員可離開現場處理其他工作。

5. 查看報告： 程序運行完畢后，軟件自動生成綜合報告，可導出為Excel、PDF等格式。

參數表：

澤攸JS2000B全自動臺階儀代表了接觸式臺階測量的較高水平，它通過自動化將人力從重復勞動中解放出來，同時通過精密的硬件和智能的軟件保證了測量數據的一致性與可靠性。

全自動臺階儀JS2000B應用場景