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產品中心三維光學輪廓儀布魯克三維光學輪廓儀布魯克?ContourX-500：高效三維光學輪廓儀
產品簡介
布魯克?ContourX-500：高效三維光學輪廓儀在當今科技飛速發展的時代，對于高精度表面測量的需求愈發迫切。無論是精密制造、半導體加工，還是科研領域的微觀研究，準確獲取表面的三維信息至關重要。而 ContourX-500 三維光學輪廓儀，正以其出色的性能，成為眾多行業的得力助手。
產品分類
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布魯克ContourX-500：高效三維光學輪廓儀
參數 | 詳情 |
最大掃描量程 | ≤10 mm |
垂直分辨率 1 | ＜0.01 nm |
水平分辨率 | 0.38 μm min（Sparrow 準則）；0.13 μm（with AcuityXR®） |
臺階高度準確性 2 | ＜0.75% |
臺階高度重復性 | ＜0.1% 1 sigma repeatability |
最大掃描速度 | 37 μm/sec（with standard camera） |
樣品反射率范圍 | 0.05% 到 100% |
最大樣品傾角 | ≤40°（shiny surfaces）；≤87°（rough surfaces） |
樣品高度 | ≤100 mm（4 in.） |
XY 樣品臺 | 150 mm（6 in.）encoded automation stage |
Z 軸聚焦 | Automated |
傾斜功能 | ±5° automated in head |
光學計量模塊 | Patented dual-color LED illumination；Single-objective adapter；Optional automated or manual turret；Optional motorized or manual discrete modules |
物鏡 | Parfocal: 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 115X；LWD: 1X, 1.5X, 2X, 5X,10X；TTM: 2X, 5X, 10X, 20X；Bright Field: 2.5X, w5X, 10X, 50X |
放大器 | 0.55, 0.75X, 1X 1.5X, 2X |
攝像頭 | Monochrome（standard）or color（optional）；5 MP with 1200x1000 data array |
軟件系統 | Vision64 and VisionXpress Analysis Software on Windows 10 OS；64-bit |
自動測量功能 | Advanced automated stitching, scatter, and grid automation standard with encoded motorized XY stage；auto focus；auto intensity；auto saving；on-fly analysis；and recording into database |
校準 | Via NIST/PTB traceable step height and lateral ruler standards |
設備尺寸 | 480 mm（W）x 604 mm（D）x 700 mm（H）) |
重量 | 70 kg |
保修期 | 12 months |
準備工作：將儀器放置在平穩、無震動的工作臺上，接通電源并開啟設備。確保樣品表面清潔，無雜質、油污等影響測量的物質。
樣品放置：通過帶編碼器的 XY 軸樣品臺，將樣品準確放置在測量位置。對于需要傾斜測量的樣品，可通過自動測頭傾斜功能，設置合適的傾斜角度。
參數設置：根據樣品的特性與測量需求，在 Vision64 和 VisionXpress 分析軟件中設置相關參數，如掃描量程、分辨率、測量模式等。軟件提供了豐富的預設選項，也支持用戶自定義設置。
測量操作：點擊開始測量按鈕，儀器將自動進行掃描，獲取樣品表面的三維數據。在測量過程中，可實時觀察測量進度與圖像。
數據分析：測量完成后，軟件會自動生成詳細的測量報告，包含各種表面參數。用戶可利用軟件中的多種分析工具，對數據進行進一步處理與分析，如粗糙度計算、關鍵尺寸測量等。