在材料科學、新能源開發及工業檢測領域，微觀結構的精準分析是推動技術突破的關鍵。澤攸科技ZEM18臺式掃描電子顯微鏡（SEM）憑借其緊湊設計、多功能集成與高效性能，成為實驗室與生產線上的“微觀觀測站"。

一、核心性能：從形貌到成分的全面解析

ZEM18的加速電壓范圍為3kV至18kV，支持1kV步進調節，可靈活適配不同樣品的觀測需求。低電壓（3-5kV）模式下，可減少非導電樣品（如塑料、陶瓷）的電荷積累，避免圖像失真；高電壓（15-18kV）則能穿透樣品表面氧化層，清晰呈現金屬內部缺陷。其分辨率在30kV加速電壓下可達2.0nm，1kV低電壓下為6.0nm，足以分辨半導體芯片金線鍵合處的微小劃痕或地質礦物顆粒的晶體邊界。

設備標配二次電子探測器（SE）與四分割背散射電子探測器（BSE），可同時采集樣品表面形貌與成分對比信息。例如，在金屬材料檢測中，SE圖像可清晰顯示裂紋擴展路徑，而BSE圖像則能通過原子序數差異區分不同相結構。選配的能量色散X射線譜儀（EDS）可進一步實現元素分布分析，為材料質量控制提供數據支持。

二、創新設計：兼顧效率與拓展性

1. 真空系統：采用真空分隔技術，電子槍與樣品倉獨立抽真空，換樣時間縮短至90秒內，大幅提升實驗效率。高真空模式適合大多數樣品，低真空模式（1-100Pa自動調節）則支持含水分或非導電樣品的直接觀測，無需噴金預處理。

2. 樣品艙與樣品臺：樣品艙采用304不銹鋼材質，厚度達2mm，可容納直徑70mm、高度50mm的樣品，適配晶圓、地質巖芯等大型塊狀樣品。電動樣品臺支持XY軸±30mm、Z軸60mm行程，移動精度達±0.005mm，確保樣品定位準確。

3. 操作界面：7英寸電容觸控屏支持多點觸控，可通過手勢縮放圖像、調整參數，屏幕亮度自動調節功能適應不同光照環境。設備接口豐富，除USB3.0與HDMI外，新增以太網接口，支持多臺設備集中管理與數據共享。

三、用材與參數：細節彰顯品質

• 電子光學系統：采用預對中鎢燈絲與一體式聚光鏡，無需手動調節物鏡光闌，降低操作門檻。電子透鏡使用高純度電工純鐵，經多道精密磨削與真空退火處理，導磁性能優異，減少電子束發散。

• 樣品臺導軌：采用軸承鋼材質，表面鍍鉻處理，硬度達HRC60以上，耐磨性強，長期使用后仍能保持高精度。

• 關鍵參數：

• 參數類別	具體參數
  加速電壓	3kV-18kV（1kV步進）
  分辨率	2.0nm（30kV, SE）；6.0nm（1kV, SE）
  放大倍率	10x-200,000x
  樣品臺行程	XY軸±30mm，Z軸60mm（電動）
  真空模式	高真空（<90秒）；低真空（1-100Pa）
  探測器類型	SE、BSE（可選EDS）

  
  

四、應用場景：從實驗室到生產線的全覆蓋

ZEM18適用于金屬材料裂紋分析、半導體器件失效檢測、鋰電池電極微觀結構表征等領域。例如，在鋰電行業中，其低真空模式可直接觀察未噴金的電極材料，結合EDS能譜分析，可快速定位鋰枝晶生長位置與成分變化；在半導體領域，電動樣品臺支持晶圓邊緣缺陷的多角度觀測，助力工藝優化。

五、操作指南：三步開啟微觀探索

1. 樣品準備：非導電樣品需噴金（厚度5-10nm），導電膠固定樣品后放入樣品艙。

2. 參數設置：通過觸控屏選擇高/低真空模式，調節加速電壓（如15kV）與光斑直徑（粗/中/細），啟用自適應亮度對比度。

3. 圖像采集：低倍下定位目標區域，切換至高倍模式后微調聚焦與消像散，選擇合適幀數（如5幀平均）保存圖像。

ZEM18以“小體積、大功能"重新定義臺式掃描電鏡，為科研與工業用戶提供高效、靈活的微觀分析解決方案。