ZeGage Pro激光干涉儀的技術(shù)內(nèi)核與用材

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學(xué)輪廓儀，致力于為科研與工業(yè)領(lǐng)域提供表面形貌的測(cè)量方案。它基于相干掃描干涉技術(shù)（CSI），能夠?qū)某饣轿⒋植诘母鞣N表面進(jìn)行三維形貌測(cè)量和二維輪廓分析。

在產(chǎn)品細(xì)節(jié)上，ZeGage Pro的設(shè)計(jì)緊湊，集成了光源、干涉物鏡、精密壓電掃描器和高分辨率相機(jī)于一體。其外殼采用工業(yè)級(jí)的鋁合金材料，確保了儀器在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中的穩(wěn)定性和抗環(huán)境干擾能力。儀器正面配備了直觀的觸摸屏控制界面，使用戶能快速進(jìn)行基礎(chǔ)操作和實(shí)時(shí)觀察。

該儀器的性能體現(xiàn)在其測(cè)量能力上。它能夠以納米級(jí)垂直分辨率捕捉表面細(xì)節(jié)，并提供大范圍的掃描區(qū)域。其重復(fù)性測(cè)量結(jié)果的一致性，有助于用戶進(jìn)行可靠的對(duì)比和趨勢(shì)分析。無(wú)論是透明材料、金屬還是高反光表面，ZeGage Pro都能應(yīng)對(duì)常見的測(cè)量挑戰(zhàn)。

ZeGage Pro的核心優(yōu)勢(shì)源于其內(nèi)在的技術(shù)和扎實(shí)的制造用材。它采用了經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的相干掃描干涉法（CSI），這是一種通過(guò)分析樣品與參考鏡之間產(chǎn)生的干涉信號(hào)來(lái)重建表面三維形貌的技術(shù)，適用于多種表面的精細(xì)測(cè)量。

在光學(xué)系統(tǒng)方面，ZeGage Pro配備了高質(zhì)量的LED光源，不僅提供了穩(wěn)定的照明，還具有長(zhǎng)的使用壽命，降低了后續(xù)的維護(hù)成本。其干涉物鏡系列經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)和校準(zhǔn)，確保了測(cè)量的準(zhǔn)確傳遞。鏡片采用低膨脹系數(shù)的光學(xué)玻璃，減少了由熱波動(dòng)引起的測(cè)量偏差。

儀器的機(jī)械結(jié)構(gòu)是穩(wěn)定性的基石。核心掃描單元采用低熱膨脹材料和高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效隔離了外界振動(dòng)和溫度變化帶來(lái)的影響。精密壓電陶瓷（PZT）驅(qū)動(dòng)器負(fù)責(zé)完成納米級(jí)的垂直掃描，其線性和重復(fù)性為高分辨率測(cè)量提供了保障。

樣品臺(tái)同樣體現(xiàn)了對(duì)質(zhì)量的關(guān)注。臺(tái)面平整度高，由耐磨材料制成，電動(dòng)驅(qū)動(dòng)版本采用精密的絲杠和電機(jī)，確保了定位的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。

型號(hào)選擇：

ZeGage Pro通常不是一個(gè)單一型號(hào)，而是作為一個(gè)產(chǎn)品平臺(tái)，用戶可以根據(jù)需求選配：

• 不同行程的電動(dòng)平臺(tái)（如100mm或200mm）。

  
  

• 不同放大倍率的干涉物鏡套件。

  
  

• 軟件功能模塊（如高級(jí)分析包）。

  
  

這種模塊化的設(shè)計(jì)意味著用戶可以獲得一款貼合自身應(yīng)用和預(yù)算需求的儀器。無(wú)論是專注于研發(fā)還是用于生產(chǎn)線的質(zhì)量控制，都有相應(yīng)的配置可供選擇。

了解其技術(shù)內(nèi)核和扎實(shí)的用材，有助于用戶理解ZeGage Pro為何能成為實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線上一款值得信賴的測(cè)量工具。它的設(shè)計(jì)著眼于長(zhǎng)期穩(wěn)定的性能輸出。

ZeGage Pro激光干涉儀的技術(shù)內(nèi)核與用材