Zygo 光學輪廓儀：輕松操作的測量利器
對于精密測量設備而言，操作的便捷性直接影響工作效率，Zygo 3D 光學輪廓儀 NewView™ 9000 在操作設計上充分考慮用戶需求，讓復雜的測量過程變得簡單易懂。
設備的操作核心是 ZygoMCM™軟件，其界面布局清晰，左側為功能菜單欄，包含測量設置、數據采集、分析報告等模塊，中間是實時成像區，右側為參數調節面板，用戶能快速找到所需功能。軟件支持中文操作界面，對于國內用戶十分友好，新手只需簡單熟悉，就能上手操作。
啟動設備后，軟件會自動進行系統自檢，檢查光學系統、運動部件等是否正常，若有異常會彈出提示信息并顯示故障位置，方便操作人員排查。自檢完成后，進入測量準備階段，此時需將樣品放置在樣品臺上。樣品臺采用抽屜式設計，輕輕拉出即可放置樣品，臺面兩側的可調節夾具能固定不同尺寸的樣品，夾具接觸樣品的部分包裹軟膠，避免損傷樣品表面。放置好樣品后，將樣品臺推回原位，軟件會自動識別樣品臺位置，進入待測量狀態。
選擇測量區域是操作的關鍵步驟之一。軟件提供兩種定位方式，手動定位和自動定位。手動定位時，通過控制面板的軌跡球或鍵盤方向鍵控制樣品臺移動，在實時成像區觀察樣品，找到需要測量的區域后，點擊 “標記測量區" 即可；自動定位則適用于批量測量，用戶可提前在軟件中設置多個測量點的坐標，設備會自動依次移動到各個測量點進行測量，大幅節省定位時間。
測量參數設置簡單靈活。軟件內置多種測量模式，如表面粗糙度測量、臺階高度測量、三維形貌掃描等，每種模式都有默認參數組合，適合新手直接使用。若有特殊需求，可在參數調節面板修改測量范圍、分辨率、掃描速度等參數。例如，測量表面較為粗糙的樣品時，可適當增大 Z 軸測量范圍；需要更高的橫向分辨率時，可選擇高倍率物鏡并減小視場范圍。參數修改后，軟件會實時顯示預覽效果，方便用戶判斷設置是否合適。
數據采集過程自動化程度高。點擊 “開始測量" 按鈕后，設備會自動完成對焦、圖像采集、數據處理等一系列操作，無需人工干預。在采集過程中，軟件會顯示進度條和實時數據，讓用戶了解測量進展。對于大面積樣品，軟件支持拼接功能，可將多個小視場的測量數據拼接成完整的大視場形貌圖，拼接精度可達 1μm 以內，滿足大尺寸樣品的測量需求。
數據處理與分析功能豐富實用。測量完成后，軟件會自動生成三維形貌圖，可通過旋轉、縮放等操作從不同角度觀察樣品表面。分析模塊能計算出多種參數，如表面粗糙度 Ra、Rz、Rq，臺階高度、角度、面積等，所有計算均符合國際標準，數據具有通用性。生成的分析報告可包含三維形貌圖、參數表格、截面曲線等內容，支持導出為 PDF、Word、Excel 等格式，方便存檔和分享。
軟件還具備數據對比功能，可將當前測量數據與歷史數據或標準數據進行對比，通過顏色標注差異區域，直觀展示樣品的合格情況。對于需要長期跟蹤的樣品，軟件支持建立樣品數據庫，記錄每次測量的數據，便于分析樣品的變化趨勢。
在維護保養方面，軟件也提供了便捷功能。通過 “系統維護" 模塊，用戶可查看設備的使用時間、各部件狀態等信息，軟件會根據使用情況提醒進行鏡頭清潔、導軌潤滑等保養操作，并提供詳細的保養步驟指導，幫助用戶延長設備使用壽命。
無論是科研實驗室的單次精細測量，還是生產車間的批量質量檢測，NewView™ 9000 都能通過簡潔的操作流程和智能化的軟件功能，讓用戶輕松完成測量任務，提高工作效率。
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