ZYGO光學輪廓儀適配：滿足多樣檢測需求
Nexview™ NX2
光學輪廓儀通過豐富的輔助配件與靈活的軟件功能，適配不同類型樣品與檢測場景，為用戶提供多樣化的測量解決方案。在輔助夾具方面，設備提供多種專用夾具供選擇：真空吸附夾具通過 - 0.09MPa 至 0MPa 的可調負壓，將薄膜、柔性電路板等易變形樣品平整固定，避免因夾持力過大導致樣品褶皺或損壞；精密定位夾具配備微調旋鈕與十字對準線，定位精度可達 1μm，適用于 MEMS 器件、微型傳感器等微小樣品的精準定位測量。
針對特殊環境與樣品的檢測需求，高溫夾具可在室溫至 200℃的范圍內穩定工作，滿足金屬材料高溫形變、陶瓷樣品高溫燒結過程中的表面形貌測量；低溫夾具則能在 - 40℃至室溫范圍內使用，適配低溫環境下如冷凍生物樣品、超導材料的檢測。防磁夾具采用無磁不銹鋼材質制作，避免磁場對測量結果的干擾，適用于磁性材料如永磁體、磁頭的表面形貌測量。
批量檢測場景中，設備可搭配自動化上下料系統，該系統由機械臂、樣品托盤與傳送帶組成，機械臂根據預設程序將樣品從托盤轉移至樣品臺，測量完成后再將樣品送至指定區域，每小時可完成 80-120 個樣品的測量，大幅提升檢測效率，減少人工操作成本。軟件適配能力同樣出色，15.6 英寸高清觸控屏支持多點觸控與手勢操作，如縮放、平移成像畫面，便捷調用常用功能；界面提供中文、英文、德語、法語等多語言選項，滿足不同地區用戶的使用需求。
軟件內置 30 + 行業專用測量模板，涵蓋半導體、光學制造、汽車零部件、生物醫學等領域，如半導體行業的 “晶圓檢測" 模板，預設了晶圓表面缺陷檢測、厚度測量的參數；光學制造行業的 “透鏡面型" 模板，適配透鏡的曲率半徑、面型誤差測量。用戶可根據樣品類型直接調用模板，無需重新設置參數；同時支持自定義模板保存，最多可存儲 100 組自定義參數，重復檢測相同類型樣品時直接調用，提升操作效率。“新手引導" 功能通過圖文結合的方式，分步講解從樣品固定、參數設置到數據導出的完整流程，幫助新手快速掌握設備操作，降低使用門檻。
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