ZYGO光學(xué)輪廓儀應(yīng)用:覆蓋多行業(yè)檢測(cè)場(chǎng)景
Nexview™ NX2光學(xué)輪廓儀憑借靈活的測(cè)量能力與穩(wěn)定的性能,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)制造、汽車、生物醫(yī)學(xué)、科研等多個(gè)行業(yè),為不同領(lǐng)域的檢測(cè)需求提供支持。在半導(dǎo)體行業(yè),設(shè)備可用于芯片制造過程中的多個(gè)環(huán)節(jié)檢測(cè),如晶圓表面平整度測(cè)量,采用白光干涉技術(shù),縱向分辨率達(dá) 0.05nm,能精準(zhǔn)檢測(cè)晶圓表面的微小起伏,為后續(xù)光刻工藝提供數(shù)據(jù)依據(jù);芯片封裝過程中的焊球高度與間距測(cè)量,通過共聚焦技術(shù)清晰捕捉焊球的三維形貌,軟件自動(dòng)計(jì)算焊球高度、直徑與間距,識(shí)別焊球偏移、高度異常等缺陷,保障芯片封裝質(zhì)量。光學(xué)制造領(lǐng)域,針對(duì)透鏡、棱鏡、反射鏡等光學(xué)元件的檢測(cè),設(shè)備通過白光干涉技術(shù)測(cè)量元件表面的面型誤差,如平面度、曲率半徑等參數(shù),精度滿足光學(xué)元件的加工要求;同時(shí)可檢測(cè)光學(xué)鍍膜的厚度與均勻性,通過分析鍍膜前后樣品表面的高度變化,計(jì)算鍍膜厚度,幫助廠家把控鍍膜工藝質(zhì)量,減少因鍍膜不均勻?qū)е碌墓鈱W(xué)性能偏差。汽車行業(yè)中,設(shè)備可用于發(fā)動(dòng)機(jī)氣門、活塞、軸承等關(guān)鍵零部件的表面粗糙度與磨損檢測(cè),采用動(dòng)態(tài)測(cè)量技術(shù),在零部件輕微振動(dòng)的情況下仍能穩(wěn)定采集數(shù)據(jù),快速獲取表面粗糙度參數(shù),評(píng)估零部件的磨損程度,為零部件的壽命預(yù)測(cè)與質(zhì)量控制提供支持。
生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,防磁夾具與無菌處理功能讓設(shè)備可用于人工關(guān)節(jié)、牙齒種植體等醫(yī)療器械的表面形貌檢測(cè),人工關(guān)節(jié)表面的微觀紋理直接影響其耐磨性與生物相容性,設(shè)備通過共聚焦技術(shù)清晰呈現(xiàn)紋理結(jié)構(gòu),測(cè)量紋理深度、密度等參數(shù),幫助研發(fā)人員優(yōu)化關(guān)節(jié)表面設(shè)計(jì);生物芯片的微通道結(jié)構(gòu)檢測(cè)中,高分辨率成像可清晰呈現(xiàn)微通道的寬度、深度與內(nèi)壁平整度,確保微通道符合液體流動(dòng)與反應(yīng)需求,保障生物芯片的檢測(cè)性能。科研實(shí)驗(yàn)室中,設(shè)備的多模式測(cè)量能力與靈活的參數(shù)設(shè)置,滿足材料科學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域的研究需求,如納米涂層的厚度與附著力測(cè)量、新型材料表面改性后的形貌變化分析等,為科研人員提供可靠的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),助力科研項(xiàng)目推進(jìn)。
ZYGO光學(xué)輪廓儀應(yīng)用:覆蓋多行業(yè)檢測(cè)場(chǎng)景