澤攸臺式掃描電鏡日常維護與性能保持

產(chǎn)品簡介

澤攸臺式掃描電鏡日常維護與性能保持
臺式掃描電子顯微鏡的長期性能穩(wěn)定，依賴于定期維護。ZEM20的維護重點集中在真空系統(tǒng)、探測器及環(huán)境控制，以下為具體維護策略。

產(chǎn)品型號：ZEM20

更新時間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

澤攸臺式掃描電鏡日常維護與性能保持

臺式掃描電子顯微鏡的長期性能穩(wěn)定，依賴于定期維護。ZEM20的維護重點集中在真空系統(tǒng)、探測器及環(huán)境控制，以下為具體維護策略。

一、真空系統(tǒng)維護

定期更換泵油：機械泵油每2000小時或每年更換一次（以先到為準），使用設備指定型號（如ISOVG32真空泵油）。換油時關閉電源，排空舊油，注入新油至視鏡中線。

清潔真空腔：每月檢查腔體內(nèi)壁，若有樣品殘留（如碳沉積），可用無水乙醇蘸取無塵棉簽輕輕擦拭（避免刮傷表面）。

檢查密封件：每半年檢查樣品倉O型圈與腔體密封處，若出現(xiàn)老化（開裂、硬化），及時更換氟橡膠圈。

二、探測器維

SE探測器：避免碰撞柵網(wǎng)（鍍金鉬絲易變形），每月用壓縮空氣（無油干燥）吹掃探測器表面，清除灰塵。

BSE探測器（選配）：固態(tài)探測器需保持冷卻（內(nèi)置Peltier元件），確保散熱口無遮擋，避免灰塵堆積影響制冷效率。

三、環(huán)境控制

溫濕度監(jiān)控：實驗室需配備空調(diào)與除濕機，溫度波動≤±2℃/天，濕度≤60%（高濕度易導致電路受潮）。

防塵措施：設備周圍避免堆放雜物，定期用吸塵器清理地面與桌面灰塵，減少顆粒物進入真空系統(tǒng)。

四、定期校準

電子束對中：每季度執(zhí)行“束流對中"程序（軟件自動完成），確保電子束居中，提升成像穩(wěn)定性。

分辨率校準：使用標準樣品（如TGT-1金顆粒，直徑20nm），每月測試一次分辨率，偏差超過10%時聯(lián)系工程師調(diào)試。

五、常見問題處理

圖像模糊：可能因樣品漂移（檢查樣品臺固定）、未聚焦或真空度不足（檢查泵油與腔體密封）。
荷電現(xiàn)象：非導電樣品未噴金時，可降低加速電壓（至5kV）或開啟低真空模式。
探測器信號弱：清潔探測器表面或檢查信號線連接是否松動。
通過以上維護措施，ZEM20可保持良好性能狀態(tài)。建議建立維護日志，記錄泵油更換、探測器清潔等操作，便于追溯設備狀態(tài)。對于無專業(yè)維護人員的用戶，廠商提供年度上門維護服務（可選），確保設備長期可靠運行。

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