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ZYGO 3D光學輪廓儀的軟件功能與分析能力ZeGage Pro的性能發揮離不開其配套的MetroPro軟件。該軟件是儀器的控制中樞和數據分析平臺，其功能設計考慮了從初學者到經驗豐富的工程師的不同需求。
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ZeGage Pro的性能發揮離不開其配套的MetroPro軟件。該軟件是儀器的控制中樞和數據分析平臺，其功能設計考慮了從初學者到經驗豐富的工程師的不同需求。
在測量控制方面，軟件界面提供了直觀的儀器狀態顯示和參數設置面板。用戶可以進行實時視頻預覽，方便快速地找到待測區域。軟件支持自動對焦、自動光強調節和自動掃描范圍查找，這些自動化功能降低了操作門檻，提高了設置效率。對于復雜的測量任務，用戶可以手動設置掃描長度、采樣密度等參數，以滿足特定的測量要求。
在數據分析方面，MetroPro軟件提供了一系列強大的處理工具。基本處理包括調平、剔除異常點以及選擇不同的參考平面。軟件內置了符合ISO 25178等一系列國際標準的分析參數，可以一鍵計算表面的粗糙度（Sa、Sq）、波紋度、平面度、臺階高度、體積等一系列參數。
軟件的高級分析功能還包括：紋理和紋路方向分析、功率譜密度分析、孔隙率分析等。用戶可以對三維形貌數據進行截面分析，獲取任意線條的輪廓曲線。所有分析結果都可以通過多種圖形方式呈現，如三維形貌圖、二維等高線圖、偽彩色圖等，使得表面特征一目了然。
此外，軟件支持測量模板的創建和批量處理。對于重復性檢測任務，用戶可以創建一個包含所有測量和分析步驟的“配方"，后續只需加載該配方，軟件即可自動完成對多個相同樣品的測量和報告生成，極大地提升了檢測流程的效率和數據的一致性。測量報告可以自定義格式，并直接導出為PDF、Excel等通用文件格式，便于數據歸檔和共享。
