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產(chǎn)品中心激光干涉儀ZYGO光學(xué)輪廓儀ZeGage ProZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的典型應(yīng)用場(chǎng)景
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的典型應(yīng)用場(chǎng)景ZeGage Pro作為一種通用的表面形貌測(cè)量?jī)x器，其應(yīng)用范圍覆蓋了眾多需要定量表面分析的領(lǐng)域。
產(chǎn)品分類
ZeGage Pro作為一種通用的表面形貌測(cè)量?jī)x器，其應(yīng)用范圍覆蓋了眾多需要定量表面分析的領(lǐng)域。
光學(xué)制造與檢測(cè)： 在光學(xué)行業(yè)，它被用于測(cè)量透鏡、棱鏡、反射鏡等光學(xué)元件的表面粗糙度和面形精度。同時(shí)，它可以測(cè)量增透膜、高反膜等光學(xué)薄膜的表面質(zhì)量和厚度，為薄膜工藝的優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。
半導(dǎo)體與微電子： 在半導(dǎo)體制造中，ZeGage Pro可以用于測(cè)量硅晶圓的翹曲度（Warpage）和彎曲度（Bow），以及芯片焊盤的共面性。它還能對(duì)CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）后的晶圓表面進(jìn)行平坦度評(píng)估，并對(duì)光刻膠等薄膜的厚度進(jìn)行測(cè)量。
材料科學(xué)研究： 研究人員利用ZeGage Pro來表征各種新材料表面的微觀結(jié)構(gòu)，例如復(fù)合材料、涂層、陶瓷和金屬等。通過分析磨損試驗(yàn)前后表面的形貌變化，可以研究材料的耐磨性能。對(duì)生物材料（如人骨、牙科材料）的表面粗糙度進(jìn)行測(cè)量，有助于評(píng)估其生物相容性。
精密加工與機(jī)械： 在精密制造領(lǐng)域，該儀器可用于檢測(cè)加工件（如軸承、滑塊、密封件）的表面紋理、劃痕、凹坑等缺陷，并定量評(píng)估拋光、研磨、車削等不同加工工藝所能達(dá)到的表面質(zhì)量水平。
能源與顯示技術(shù)： 在太陽(yáng)能電池行業(yè)，可用于測(cè)量減反射絨面的結(jié)構(gòu)，以優(yōu)化其陷光效果。在顯示領(lǐng)域，可用于測(cè)量OLED、微LED等器件薄膜的平整度和封裝質(zhì)量。
這些應(yīng)用實(shí)例表明，ZeGage Pro作為一種測(cè)量工具，能夠?yàn)楫a(chǎn)品研發(fā)、工藝改進(jìn)和質(zhì)量控制提供客觀的、量化的表面數(shù)據(jù)，幫助用戶理解和控制產(chǎn)品表面的特性。
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