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ZYGO 3D光學輪廓儀操作軟件功能解析過 MetroPro 軟件的功能適配，ZeGage Pro 實現了 “測量 - 分析 - 報告" 全流程閉環，簡化數據處理步驟，適配不同場景的檢測需求。
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ZYGO 3D光學輪廓儀操作軟件功能解析
硬件參數匹配：在 “測量設置" 中選擇當前物鏡（5X/10X/20X/50X），軟件自動加載對應分辨率參數（如 50X 物鏡默認水平分辨率 0.64μm）；若樣品為透明材質，勾選 “增強對比度"，軟件自動調整光源亮度與成像算法，減少反光干擾。
掃描參數調整：設置掃描范圍（最小 10μm×10μm，最大 100mm×100mm），數據點密度可選 300-1000 點 /mm2（高精度需求選高密度，快速檢測選低密度）；勾選 “連續掃描"，可預設 3-5 個測量區域，設備自動依次完成掃描。
基礎參數計算：掃描完成后，點擊 “分析"→“表面參數"，軟件自動計算 Ra（算術平均粗糙度）、Rz（十點平均粗糙度）、PV（峰谷值）等參數，結果保留 3 位小數（如 Ra=0.025μm），可直接復制至表格。
專項分析模塊：
臺階高度測量：用鼠標框選臺階區域，軟件自動識別臺階上下表面，計算高度差（誤≤0.01μm）；
缺陷識別：開啟 “缺陷分析"，設置缺陷閾值（如劃痕深度≥0.1μm），軟件自動標紅缺陷區域，統計數量與尺寸；
曲率計算：光學鏡片檢測時，選擇 “曲率分析"，軟件擬合曲面，輸出曲率半徑與球面度數據（誤≤0.1%）。
報告模板選擇：點擊 “報告"→“新建報告"，提供兩種模板：“基礎模板"（含樣品信息、測量參數、關鍵數據）、“詳細模板"（增加 3D 形貌圖、偏差分析），支持插入公司 LOGO（圖片格式為 JPG/PNG）。
數據導出格式：測量數據可導出為 CSV（參數表格）、STL（3D 模型，用于后續建模）、TIFF（2D 灰度圖）；報告可導出為 PDF（避免格式錯亂）或 Word（便于后續編輯），導出時可選擇是否包含原始數據附件。
兼容性：支持導入其他輪廓儀的 CSV 數據，進行二次分析；可對接 CAD 軟件（如 AutoCAD），直接導入設計模型，對比測量數據與設計值的偏差。
數據安全：開啟 “自動備份"（默認每 10 分鐘備份一次），若電腦斷電，重啟后可通過 “數據恢復" 找回未保存文件；支持用戶權限管理（管理員 / 操作員），限制參數修改權限，避免誤操作。
軟件校準：更換物鏡后，需在 “校準"→“物鏡校準" 中，用標準樣板（如已知臺階高度的樣板）驗證，確保數據準確；
版本更新：從 ZYGO 下載最新軟件版本，更新前需備份測量數據與自定義模板，避免丟失；
異常處理：若軟件卡頓，關閉無關程序釋放內存；若成像模糊，檢查物鏡清潔度或重啟軟件重新連接設備。
ZYGO 3D光學輪廓儀操作軟件功能解析