Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的工作原理 白光干涉光學(xué)輪廓儀是一種基于白光干涉原理的非接觸式表面形貌測量儀器。它通過分析光線在參考鏡和樣品表面反射后形成的干涉條紋來重建樣品表面的三維形貌。這種技術(shù)能夠提供表面高度信息，適用于從納米級(jí)到毫米級(jí)的表面特征測量。

在工作時(shí)，儀器光源發(fā)出的白光經(jīng)過分光鏡分為兩束：一束照射到參考鏡，另一束照射到樣品表面。兩束光反射后重新匯合，由于光程差的存在，會(huì)形成明暗相間的干涉條紋。當(dāng)樣品表面高度發(fā)生變化時(shí)，干涉條紋的對(duì)比度也會(huì)相應(yīng)改變。儀器通過垂直方向掃描，捕獲一系列干涉圖像，然后利用算法分析每個(gè)像素點(diǎn)的干涉信號(hào)，最終計(jì)算出樣品表面的三維形貌數(shù)據(jù)。

白光干涉光學(xué)輪廓儀的核心優(yōu)勢在于其能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸測量，避免了對(duì)樣品表面的損傷。這對(duì)于測量柔軟、易損或敏感材料的表面非常有用。此外，由于采用白光作為光源，這種技術(shù)適用于多種材料表面，包括透明、半透明和不透明材料。

Sensofar S neox 光學(xué)輪廓儀集成了白光干涉等多種測量技術(shù)，能夠根據(jù)樣品特性自動(dòng)選擇最合適的測量模式。其工作原理不僅考慮了表面高度變化，還結(jié)合了優(yōu)良的算法處理，確保了測量數(shù)據(jù)的可靠性。這種儀器在半導(dǎo)體、光學(xué)加工和材料科學(xué)研究等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

與其他測量技術(shù)相比，白光干涉光學(xué)輪廓儀在測量光滑表面和具有高深寬比的結(jié)構(gòu)時(shí)表現(xiàn)出較好的性能。它能夠提供亞納米級(jí)的縱向分辨率，適用于超光滑表面的平面度測量。此外，儀器的測量速度較快，能夠在短時(shí)間內(nèi)完成大面積樣品的掃描，提高了檢測效率。

總的來說，白光干涉光學(xué)輪廓儀通過結(jié)合光學(xué)干涉原理和現(xiàn)代數(shù)字圖像處理技術(shù)，為表面形貌測量提供了一種有效的解決方案。其非接觸、高精度和快速測量的特點(diǎn)，使其成為工業(yè)檢測和科學(xué)研究中常用的工具之一。Sensofar白光干涉光學(xué)輪廓儀的工作原理