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白光干涉儀S neox的大視野測量能力

產品簡介

白光干涉儀S neox的大視野測量能力:無縫銜接宏觀與微觀的精密測量。通過自動拼接實現大視野全景掃描,一鍵切換高倍物鏡即可對局部缺陷進行納米級精細測量,全面提升質檢效率與數據分析深度。

產品型號:
更新時間:2025-11-11
廠商性質:代理商
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白光干涉儀S neox的大視野測量能力

在質量控制和失效分析中,往往需要在宏觀和微觀尺度上同時對樣品進行考察。例如,需要評估一個大型光學元件的面形精度,同時又要檢測其局部區域的微小劃痕或瑕疵。這就要求測量設備既具備“俯瞰全局"的大視野掃描能力,又擁有“明察秋毫"的高倍放大細節測量功能。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀通過其精密的機械平臺、光學系統和智能軟件,實現了從宏觀到微觀的無縫銜接測量。

大視野測量的首要挑戰是如何突破單次視場的限制。S neox通過“圖像拼接"技術來解決這一問題。儀器驅動電動樣品臺或掃描鏡,按照預設的網格路徑移動,系統自動采集相鄰的一系列圖像和三維數據。隨后,利用軟件的高精度拼接算法,將這些有重疊區域的數據塊無縫拼接成一幅完整的、高分辨率的大面積三維形貌圖。這個過程可以是全自動的,用戶只需定義拼接的行數和列數,或者直接設定需要覆蓋的矩形區域即可。

這種大面積的三維數據對于分析樣品的整體平整度、翹曲、應變分布等參數非常有價值。例如,在平板顯示行業,可以測量玻璃基板的大面積形貌;在新能源領域,可以評估電池極片的涂布均勻性。獲取全局信息有助于從整體上把握產品的質量狀況。
然而,僅有宏觀視野是不夠的。當在大視野圖中發現感興趣的區域,如一個疑似缺陷的點時,用戶需要能快速地放大并進行高倍率的精細測量。S neox的多物鏡集成轉盤設計于此發揮了關鍵作用。用戶可以在軟件中直接在大視野拼接圖上點擊感興趣的位置,軟件會自動控制平臺將該點移動至視野中心,然后自動切換到更高倍率的物鏡(如20倍、50倍甚至150倍),對該區域進行微米或納米尺度的精細測量。這種從低倍到高倍的自動聯動,實現了“導航-定位-精細測量"的一體化流程,無需重新裝夾樣品,保證了宏觀坐標與微觀數據的位置關聯準確性。
此外,對于需要統計性分析的場景,如表面某種缺陷的分布密度,大視野測量提供了統計的基礎。軟件可以在拼接后的三維圖上,設定 criteria,自動識別和定位所有符合特征的區域,并記錄其位置、尺寸、深度等信息,為統計分析提供豐富的數據樣本。
Sensofar S neox的大視野測量能力,打破了宏觀與微觀觀察之間的壁壘。它將白光干涉儀的高分辨率優勢從單個視場擴展到了整個樣品表面,為用戶提供了更全面、更立體的樣品信息。這種從整體到局部的工作流程,更符合現代研究和質檢的實際需求,提升了設備的數據產出效率和洞察力。

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