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產品簡介
白光干涉儀S neox的大視野測量能力:無縫銜接宏觀與微觀的精密測量。通過自動拼接實現大視野全景掃描,一鍵切換高倍物鏡即可對局部缺陷進行納米級精細測量,全面提升質檢效率與數據分析深度。
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白光干涉儀S neox的大視野測量能力
在質量控制和失效分析中,往往需要在宏觀和微觀尺度上同時對樣品進行考察。例如,需要評估一個大型光學元件的面形精度,同時又要檢測其局部區域的微小劃痕或瑕疵。這就要求測量設備既具備“俯瞰全局"的大視野掃描能力,又擁有“明察秋毫"的高倍放大細節測量功能。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀通過其精密的機械平臺、光學系統和智能軟件,實現了從宏觀到微觀的無縫銜接測量。
大視野測量的首要挑戰是如何突破單次視場的限制。S neox通過“圖像拼接"技術來解決這一問題。儀器驅動電動樣品臺或掃描鏡,按照預設的網格路徑移動,系統自動采集相鄰的一系列圖像和三維數據。隨后,利用軟件的高精度拼接算法,將這些有重疊區域的數據塊無縫拼接成一幅完整的、高分辨率的大面積三維形貌圖。這個過程可以是全自動的,用戶只需定義拼接的行數和列數,或者直接設定需要覆蓋的矩形區域即可。
白光干涉儀S neox的大視野測量能力