白光干涉儀S neox的數(shù)據(jù)分析深度
獲取樣品表面的三維形貌數(shù)據(jù)是第一步,而從海量三維數(shù)據(jù)中提取出有意義的、與研究方向或質(zhì)量控制目標(biāo)直接相關(guān)的參數(shù),才是測量的最終目的。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀所配套的SensoMAP軟件,提供了豐富且深入的數(shù)據(jù)分析工具集,幫助用戶深度挖掘三維數(shù)據(jù)背后蘊(yùn)含的信息。
軟件的分析功能覆蓋了從基礎(chǔ)到高級(jí)的多個(gè)層面。最基本的分析包括表面粗糙度與波紋度分析。軟件內(nèi)置了符合ISO 25178等國際標(biāo)準(zhǔn)的一系列區(qū)域參數(shù),如Sa(算術(shù)平均高度)、Sq(均方根高度)、Sz(最大高度)等,可以全面量化表面的紋理特征。同時(shí),也支持符合ISO 4287的點(diǎn)、線參數(shù)分析,滿足不同行業(yè)的習(xí)慣標(biāo)準(zhǔn)。除了通用的粗糙度參數(shù),軟件還提供針對(duì)特定應(yīng)用的功能性分析模塊。例如:
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體積分析:對(duì)于摩擦學(xué)、密封性研究,可以計(jì)算磨損體積、材料損失量、或軸承的油槽容積。
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臺(tái)階高度與尺寸測量:可用于微電子行業(yè)測量刻蝕深度、線寬、圖形尺寸等。
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形狀與輪廓分析:可以將測量數(shù)據(jù)與標(biāo)準(zhǔn)幾何圖形(如直線、圓、平面)進(jìn)行擬合,評(píng)估工件的直線度、圓度、平面度等形位公差。
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孔隙率分析:對(duì)于多孔材料或涂層,可以識(shí)別并統(tǒng)計(jì)孔隙的數(shù)量、面積、深度分布。
軟件強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理能力還體現(xiàn)在對(duì)測量結(jié)果的后期處理上。用戶可以進(jìn)行傾斜校正、去除形狀誤差(Form Removal)、應(yīng)用濾波器(高斯濾波、中值濾波等)以分離粗糙度和波紋度。這些功能對(duì)于去除裝夾傾斜或基板固有曲率的影響,從而真實(shí)反映所關(guān)注表面尺度的特征至關(guān)重要。數(shù)據(jù)的可視化對(duì)于理解分析結(jié)果非常有幫助。SensoMAP軟件能夠生成高質(zhì)量的三維形貌圖、二維輪廓曲線、偽彩圖等,并允許用戶自由旋轉(zhuǎn)、縮放視角,從不同角度觀察樣本。分析結(jié)果可以方便地導(dǎo)出為圖像、圖表或數(shù)據(jù)表格,便于撰寫報(bào)告和學(xué)術(shù)論文。此外,軟件的批處理分析和宏記錄功能,允許用戶將一套復(fù)雜的分析流程保存下來,應(yīng)用于批量測量的所有數(shù)據(jù)上,自動(dòng)生成統(tǒng)一的報(bào)告,極大地提升了數(shù)據(jù)分析的效率。綜上所述,Sensofar S neox的價(jià)值不僅在于其能夠獲取高精度的三維數(shù)據(jù),更在于其配套軟件所提供的深度數(shù)據(jù)分析能力。它將原始的點(diǎn)云數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為具有明確物理意義和工程價(jià)值的定量參數(shù),幫助用戶在科研和工業(yè)檢測中做出基于數(shù)據(jù)的判斷。
白光干涉儀S neox的數(shù)據(jù)分析深度