Sensofar S neox三維共焦白光干涉輪廓儀

Sensofar S neox三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀是一款集成了多種先進(jìn)測(cè)量技術(shù)的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)制造和質(zhì)量檢測(cè)等領(lǐng)域。該儀器通過融合共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)復(fù)雜表面的高精度、非接觸式測(cè)量，為用戶提供了一種全新的3D表面形貌分析解決方案

。

一、技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

S neox采用模塊化設(shè)計(jì)，結(jié)合了共聚焦、白光干涉和相位差干涉三種測(cè)量模式，能夠適應(yīng)不同類型的表面測(cè)量需求。共聚焦模式提供高橫向分辨率，適用于高斜率表面的測(cè)量；白光干涉模式則提供納米級(jí)的縱向分辨率，適用于粗糙表面的測(cè)量；而多焦面疊加技術(shù)則通過快速掃描和智能算法，減少了數(shù)據(jù)采集中的噪點(diǎn)，提高了圖像質(zhì)量

。此外，S neox還配備了高速高分辨率的黑白CCD攝像頭和彩色攝像頭，能夠捕捉納米級(jí)的細(xì)節(jié)，并提供實(shí)時(shí)彩色圖像和高對(duì)比度的彩色編碼深度信息

S neox的掃描速度非?？?，數(shù)據(jù)采集速度可達(dá)180幀/秒，比傳統(tǒng)設(shè)備快5倍，典型三維圖片獲取時(shí)間僅需3秒。這種高速度不僅提高了測(cè)量效率，還減少了因環(huán)境變化導(dǎo)致的測(cè)量誤差。此外，S neox還支持一鍵實(shí)現(xiàn)ISO 25178和ISO 4287標(biāo)準(zhǔn)的粗糙度測(cè)量，確保了測(cè)量結(jié)果的可追溯性和準(zhǔn)確性。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

S neox在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。在微電子和電子消費(fèi)產(chǎn)品領(lǐng)域，它能夠精確測(cè)量芯片表面的微小結(jié)構(gòu)，確保產(chǎn)品質(zhì)量和性能

。在醫(yī)療設(shè)備和精密加工領(lǐng)域，S neox能夠測(cè)量刀具切削刃的表面形貌，幫助優(yōu)化加工工藝。在古生物學(xué)領(lǐng)域，S neox能夠測(cè)量化石表面的微小紋理，為科學(xué)研究提供支持

。此外，S neox還適用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)和生化技術(shù)產(chǎn)業(yè)，能夠測(cè)量微米級(jí)至亞納米級(jí)的表面形貌細(xì)節(jié)

。

三、軟件與用戶界面

S neox配備了強(qiáng)大的軟件系統(tǒng)，包括SensoSCAN和SensoVIEW，這些軟件提供了直觀的用戶界面和強(qiáng)大的分析工具，使用戶能夠輕松地獲取和分析測(cè)量結(jié)果

。SensoVIEW軟件支持2D和3D視圖，用戶可以通過多種縮放、顯示和渲染選項(xiàng)進(jìn)行初步檢查和分析，還可以測(cè)量關(guān)鍵尺寸、角度、距離和直徑，并實(shí)時(shí)顯示剖面線多段高度信息。此外，S neox還支持智能編程和自動(dòng)化測(cè)量功能，用戶可以通過簡(jiǎn)單的操作完成復(fù)雜的測(cè)量任務(wù)，提高工作效率。

三、高精度測(cè)量，保障數(shù)據(jù)可靠性

對(duì)于科研和工業(yè)應(yīng)用而言，測(cè)量精度無疑是至關(guān)重要的。S neox 在精度方面表現(xiàn)，共聚焦技術(shù)的橫向分辨率可達(dá) 0.10um，能夠清晰分辨樣品表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)，為關(guān)鍵尺寸的測(cè)量提供了可靠保障。其共聚焦算法確保了 Z 軸測(cè)量重復(fù)性處于納米范疇，在進(jìn)行高精度表面高度測(cè)量時(shí)，能夠提供穩(wěn)定且準(zhǔn)確的結(jié)果。白光干涉技術(shù)作為一種納米級(jí)測(cè)量精度的表面高度形貌測(cè)量技術(shù)，在任何放大倍數(shù)下都能保證納米級(jí)的縱向分辨率，能夠精準(zhǔn)還原各種表面的真實(shí)形貌。在材料研究中，對(duì)于材料微觀表面的粗糙度和微觀結(jié)構(gòu)的測(cè)量，S neox 的高精度測(cè)量性能能夠?yàn)檠芯咳藛T提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持，助力深入了解材料性能與微觀結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系。

四、市場(chǎng)與服務(wù)

Sensofar是一家位于西班牙的公司，自1999年成立以來，一直致力于三維表面形貌測(cè)量技術(shù)的研發(fā)。Sensofar在全球范圍內(nèi)擁有廣泛的客戶基礎(chǔ)，并在多個(gè)行業(yè)提供了數(shù)百種表面形貌測(cè)量應(yīng)用產(chǎn)品。Sensofar的旗艦型三維共聚焦白光干涉輪廓儀S neox價(jià)格區(qū)間在100萬至250萬人民幣之間，適用于和工業(yè)應(yīng)用。Sensofar還提供全面的技術(shù)支持和售后服務(wù)，確保客戶能夠順利使用和維護(hù)設(shè)備。

五、總結(jié)

Sensofar S neox三維共焦白光干涉光學(xué)輪廓儀是一款集成了多種先進(jìn)測(cè)量技術(shù)的設(shè)備，能夠提供高精度、非接觸式的3D表面形貌測(cè)量。其模塊化設(shè)計(jì)、高速掃描能力和強(qiáng)大的軟件系統(tǒng)，使其在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。無論是科研機(jī)構(gòu)還是工業(yè)制造企業(yè)，S neox都能為用戶提供可靠的測(cè)量解決方案，幫助他們提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率

4、輕松定位樣品

XY 平臺(tái)的行程范圍達(dá)125 mm x 75 mm，可輕松放置及定位樣品，并使用與光軸完*對(duì)齊的尖*傾斜平臺(tái)輕松調(diào)平樣品。

5、多種物鏡選擇

在操作過程中，可使用6位電動(dòng)鼻輪隨時(shí)切換物鏡，體驗(yàn)無限可能。從多種兼容鏡頭中進(jìn)行選擇，包括具有長(zhǎng)焦鏡頭和水鏡等特定選項(xiàng)。

Sensofar S neox三維共焦白光干涉輪廓儀